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漢民微測自成立於 1998 年以來就致力於研發最先進的電子束檢測技術來協助提升半導體產業之良率。目前漢民微測已經成為世界各大晶圓代工廠與晶圓記憶體廠最大的電子束檢測設備供應商。我們擁有自行研發專利的電子槍技術 、 電子束成像技術與精準的檢測軟體 , 來確保我們的每條產品線-eScan® 系 列、ePTM 系 列、eXplore®系列皆能滿足半導體研發部門與量產單位之各項應用。


首頁 關於漢民微測 公司簡介


在奈米技術世代之前,光學晶圓檢測機台尚能克服線寬不斷微縮的挑戰,但在進入 90 奈米世代後,光學技術將面臨瓶頸,而以電子掃描顯微技術 ( E-beam ) 為核心技術的檢測機台,將逐漸躍居晶圓缺陷檢驗之主流。1998 年,看準這個發展趨勢與市場需求,在漢民科技集團 ( Hermes Epitek Corp. ) 董事長黃民奇的大力支持下,四位志同道合的頂尖科學家於美國矽谷成立 Hermes Microvision, Inc.,開始投入電子束晶圓檢測設備的研發。

2003 年,集結兩岸精英的研發團隊,成功開發出第一台「電子束缺陷檢測設備 ( E-beam Inspection Tool ) 」,以獨家的跳躍式掃描檢測及穩定的電子槍技術領先全球,提供業界更先進的檢測設備與技術,協助客戶有效提高前段製程效能,更將晶圓缺陷檢驗產品的技術層次,提昇進入全球高科技設備與零組件供應鍊中。

經營團隊並於 2003 年在台灣成立企業總部--漢民微測科技股份有限公司,開始展開全球業務及營運之佈局,爾後陸續於日本、韓國、中國大陸等區域設立子公司。

漢民微測秉持「幫客戶解決問題,成為客戶的夥伴,與客戶相互信任」的原則,為策略夥伴提供解決方案,完成 90 奈米、65 奈米、40 奈米、28 奈米,乃至於 20 奈米製程的開發與量產,並繼續朝16 奈米及10 奈米以下製程的檢測設備推進。時至今日,漢民微測所研發、製造的電子束檢測設備,其解析度及可靠度,已獲得全球前二十大晶圓大廠及記憶體大廠的肯定與青睞。

漢民微測以 HMI ( Hermes Microvision, Inc. ) 為產品品牌,完整的參與了開發設計、製造、國際銷售與服務,在過程中展現堅強的實力與堅定的意志。漢民微測集結兩岸三地及世界各地的的頂尖技術人才,以及專業的客戶服務,讓漢民微測 ( HMI ) 在世界級的半導體尖端製程設備中占有一席之地,也為半導體產業發展史寫下新的一頁。


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