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漢民微測的專業領域
 

漢民微測自成立於1998年以來就致力於研發最先進的電子束檢測技術來協助提升半導體產業之良率。目前漢民微測已經成為世界各大晶圓代工廠與晶圓記憶體廠最大的電子束檢測設備供應商。我們擁有自行研發專利的電子槍技術、電子束成像技術與精準的檢測軟體,來確保我們的每條產品線 - eScan®系列、ePTM系列、eXplore®系列皆能滿足半導體研發部門與量產單位之各項應用。

關於漢民微測
  在奈米技術世代之前,光學晶圓檢測機台尚能克服線寬不斷微縮的挑戰,但在進入 90 奈米世代後,光學技術將面臨瓶頸,而以電子掃描顯微技術 ( E-beam ) 為核心技術的檢測機台 ...(more)
 

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